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标题
Plasma assisted deposition of thin carbon films from methane and the influence of the plasma parameters and additional gases
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X0...
DOI
10.1016/j.vacuum.2004.07.074 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：F. Hamelmann; A. Aschentrup; A. Brechling; U. Heinzmann; M. Abrashev; et al
出版日期：2004-11-05
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甜甜钢铁侠 在 2026-09-01 11:22:06 发布自安徽，悬赏 10 积分
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