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A large range multi-axis capacitive force/torque sensor realized in a single SOI wafer |
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期刊:2014 IEEE 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 作者:D. Alveringh; R. A. Brookhuis; R. J. Wiegerink; G. J. M. Krijnen 出版日期:2014-01-01 |
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