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Low-Temperature Route to Direct Amorphous to Rutile Crystallization of TiO2 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition
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网址
DOI
10.1021/acs.jpcc.2c04905 doi
其它 期刊:The Journal of Physical Chemistry C
作者:Jesse Saari; Harri Ali‐Löytty; Kimmo Lahtonen; Markku Hannula; Lauri Palmolahti; et al
出版日期:2022-08-30
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