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标题
Predicting the morphology of cobalt, copper, and ruthenium on TaN for interconnect metal deposition
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钴 铜 钌 互连 形态学（生物学） 沉积（地质） 金属 材料科学 冶金 化学 计算机科学 地质学 电信 古生物学 催化作用 生物化学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1063/5.0256958
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1063/5.0256958 doi
其它 期刊：The Journal of Chemical Physics
作者：Karl Rönnby; Michael Nolan
出版日期：2025-06-24
求助人
jingjing 在 2026-01-24 13:28:05 发布自安徽，悬赏 10 积分
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