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 Application of high-spatial-resolution distributed fiber-optic sensing technique for neutral gas temperature mapping in inductively coupled Ar plasmas 相关领域
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Luo Qian; Tuo Lv; Pengyu Wang; Da-Peng Zhou; Fei Gao; et al 出版日期：2025-06-13 |
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