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标题
Application of high-spatial-resolution distributed fiber-optic sensing technique for neutral gas temperature mapping in inductively coupled Ar plasmas
相关领域
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网址
DOI
10.1116/6.0004640 doi
其它 期刊:Journal of vacuum science & technology
作者:Luo Qian; Tuo Lv; Pengyu Wang; Da-Peng Zhou; Fei Gao; et al
出版日期:2025-06-13
求助人
嘻嘻 在 2026-01-18 18:36:36 发布自广西,悬赏 10 积分
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