Cobalt CMP Development for 7nm Logic Device

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标题	Cobalt CMP Development for 7nm Logic Device 用于7nm逻辑器件的钴CMP开发相关领域钴材料科学泥浆钨化学机械平面化冶金抛光蚀刻（微加工）复合材料图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1149/ma2017-01/26/1258
DOI	10.1149/ma2017-01/26/1258 doi
其它	期刊：ECS Meeting Abstracts 作者：Changhong Wu; Ja-Hyung Han; Xingzhao Shi; Dinesh Koli; Dinesh Penigalapati 出版日期：2017-04-15
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