Evaluation of Piezoelectric Ta2O5 Thin Films Deposited on Sapphire Substrates

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标题	Evaluation of Piezoelectric Ta2O5 Thin Films Deposited on Sapphire Substrates
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.7567/JJAP.52.07HD06
DOI	10.7567/jjap.52.07hd06 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Shunsuke Iwamoto; Ryosuke Saigusa; Shoji Kakio 出版日期：2013-06-20
求助人	Li 在 2026-04-08 17:39:16 发布自北京，悬赏 10 积分
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