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 Current-Source-Type Pulse Current Generator With Reduced Waveform Distortion for Capacitively Coupled Plasma Systems 相关领域
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期刊：IEEE Transactions on Industry Applications 作者：Beomseok Chae; Juhwa Min; Yongsug Suh; Hyejin Kim; Hyun Bae Kim 出版日期：2021-02-03 |
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