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标题
Tangential flow filtration of ceria slurry: Application of a single-pass method to improve buff cleaning
二氧化铈浆料的切向流过滤：应用单程法改善缓冲清洗
相关领域
泥浆 材料科学 抛光 薄脆饼 过滤（数学） 化学机械平面化 体积流量 堵塞 复合材料 化学工程 纳米技术 机械 统计 物理 数学 考古 工程类 历史
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2022.106618
DOI
10.1016/j.mssp.2022.106618 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Jaewon Lee; Hyeonmin Seo; Sang-Hyeon Park; Eungchul Kim; Jungryul Lee; et al
出版日期：2022-03-17
求助人
ChenxiDai 在 2025-06-28 13:20:04 发布自江苏，悬赏 10 积分
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