发布文献求助
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
求助中
  • 文献求助详情
标题
Low damage atomic layer etching technology for gate recessed fabrication
用于栅极凹槽制造的低损伤原子层刻蚀技术
相关领域
X射线光电子能谱 蚀刻（微加工） 材料科学 拉曼光谱 反应离子刻蚀 图层（电子） 分析化学（期刊） 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 干法蚀刻 等离子体刻蚀 制作 等离子体 光谱学 化学 纳米技术 复合材料 光学 化学工程 病理 色谱法 替代医学 医学 工程类 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.112591
DOI
10.1016/j.vacuum.2023.112591 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Jie-He Guo; Wei Ke; Shengli Zhang; Xin He; Yan Zhang; et al
出版日期：2023-09-07
求助人
虚幻的天问 在 2025-12-03 22:29:20 发布自山西，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Advanced Etching Techniques of LiNbO3 Nanodevices
  2. Straight and Smooth Etching of GaN (1100) Plane by Combination of Reactive Ion Etching and KOH Wet E...
  3. Chromium oxide as a hard mask material better than metallic chromium
  4. A novel etching technology with reactive ion etching system for GaAs via-hole etching applications
  5. Etching of Semiconductor Devices
  6. Superfine IC geometries: Gas-plasma etching may supplant chemical etching in manufacturing high-perf...
  7. Improvement of Cr dry etching characteristics with the MERIE system
  8. Preparation and etching processing of planar thin film of Pr3+-doped fluorozirconate glass
  9. Dry etching utilizing showered electron beam assisted etching
  10. Electron cyclotron resonance-reactive CH/sub 4//H/sub 2//Ar with constant Ar flow for high etch rate...
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 37分钟前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    22:29:24 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    22:29:20 科研通AI机器人（美国 洛杉矶）收到请求，开始寻找文献
    22:29:20 已向机器人发送请求

  • 37分钟前

    虚幻的天问 虚幻的天问 Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
张宝发布了新的文献求助10
1秒前
外向铃铛发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
子车茗的应助被愤怒的梦曼采纳，获得10
3秒前
小绿蝶完成签到 ，获得积分10
3秒前
4秒前
8秒前
细心灵阳发布了新的文献求助10
8秒前
En发布了新的文献求助10
9秒前
10秒前
Nicole完成签到，获得积分10
10秒前
糖糖发布了新的文献求助10
13秒前
不筝发布了新的文献求助10
15秒前
顺心的小白菜完成签到，获得积分10
16秒前
16秒前
cyj发布了新的文献求助30
17秒前
18秒前
20秒前
务实飞柏完成签到，获得积分10
20秒前
xxfsx的应助被malingwei采纳，获得10
20秒前
思源的应助被不筝采纳，获得10
20秒前
21秒前
22秒前
22秒前
23秒前
choys发布了新的文献求助10
24秒前
24秒前
25秒前
一丁雨完成签到，获得积分10
27秒前
27秒前
儒雅晓霜发布了新的文献求助10
28秒前
30秒前
30秒前
31秒前
32秒前
32秒前
一丁雨发布了新的文献求助10
32秒前
xinxin发布了新的文献求助20
33秒前
摆烂王子发布了新的文献求助10
33秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.).. Frederic G. Reamer 1070
The Complete Pro-Guide to the All-New Affinity Studio: The A-to-Z Master Manual: Master Vector, Pixel, & Layout Design: Advanced Techniques for Photo, Designer, and Publisher in the Unified Suite 1000
按地区划分的1,091个公共养老金档案列表 801
The International Law of the Sea (fourth edition) 800
Teacher Wellbeing: A Real Conversation for Teachers and Leaders 600
A Guide to Genetic Counseling, 3rd Edition 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5407278
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4524843
关于积分的说明 14100275
捐赠科研通 4438652
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2436417
邀请新用户注册赠送积分活动 1428409
关于科研通互助平台的介绍 1406450
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通