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 Anisotropic etching of polymer films by high energy (∼100s of eV) oxygen atom neutral beams 高能（~100 s eV）氧原子中性束各向异性刻蚀聚合物薄膜
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Siddhartha Panda; Demetre J. Economou; Lee Chen 出版日期：2001-03-01 |
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