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Angle-resolved X-ray photoelectron spectroscopy intensity modeling of SiNx ultrathin layer grown on Si (100) and Si (111) substrates by N2 plasma treatment 相关领域
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期刊:Thin Solid Films 作者:Hiba Beji; Valentin Develay; Guillaume Monier; L. Bideux; Philip E. Hoggan; et al 出版日期:2024-05-15 |
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