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  Influence of electrode materials and surface roughness on the homogeneity of discharges in fluorine-based excimer laser gas mixtures 电极材料和表面粗糙度对氟基准分子激光混合气体放电均匀性的影响
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：D. Mathew; Hubertus M.J. Bastiaens; Klaus J. Boller; Peter J. Peters 出版日期：2006-09-22 |
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