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 Effect of W-doping on the structure and properties of DLC films prepared by combining physical and chemical vapor deposition W掺杂对物理化学气相沉积相结合制备的DLC薄膜结构和性能的影响
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Runwei Song; Sen Chen; Zhongwei Liu; Chunqing Huo; Qiang Chen 出版日期：2023-01-06 |
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