Anisotropy of machined surfaces involved in the ultra-precision turning of single-crystal silicon—a simulation and experimental study

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标题	Anisotropy of machined surfaces involved in the ultra-precision turning of single-crystal silicon—a simulation and experimental study
网址	http://dx.doi.org/10.1007/s00170-011-3633-7
DOI	10.1007/s00170-011-3633-7 doi
其它	期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 作者：Minghai Wang; Wei Wang; Zesheng Lu 出版日期：2011-10-18
求助人	2234 在 2026-09-04 16:03:16 发布自江苏，悬赏 10 积分
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