Effects of the focus ring on the ion kinetics at the wafer edge in capacitively coupled plasma reactors

已完结

文献求助详情

标题	Effects of the focus ring on the ion kinetics at the wafer edge in capacitively coupled plasma reactors
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002585
DOI	10.1116/6.0002585 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Fang‐Fang Ma; Quan‐Zhi Zhang; Daoman Han; Zilan Xiong; Ming Gao; et al 出版日期：2023-07-27
求助人	gooster 在 2026-07-23 16:03:46 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

Institute for Operations Research and the Management Sciences

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: pups发布了新的文献求助10

6秒前; 无花果的应助被科研通管家采纳，获得10

19秒前; 高贵的晓啸完成签到，获得积分10

28秒前; 义气的泥猴桃发布了新的文献求助10

1分钟前; 义气的泥猴桃完成签到，获得积分10

1分钟前; 懦弱的代云完成签到，获得积分10

1分钟前; 外向如雪完成签到，获得积分10

1分钟前; Criminology34的应助被懒羊羊采纳，获得30

1分钟前; 阳光灭绝完成签到，获得积分10

2分钟前; 脑洞疼的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 丢丢第完成签到，获得积分10

2分钟前; fabius0351完成签到，获得积分0

2分钟前; 甜蜜的忘幽完成签到，获得积分10

2分钟前; Spice完成签到，获得积分10

3分钟前; 粗心的烨伟完成签到，获得积分10

3分钟前; ding的应助被大导师采纳，获得10

4分钟前; 落后乘风完成签到，获得积分10

4分钟前; ding上传了应助文件

4分钟前; 希望天下0贩的0的应助被包容的冰绿采纳，获得10

4分钟前; 大导师发布了新的文献求助10

4分钟前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

4分钟前; 包容的冰绿发布了新的文献求助10

4分钟前; dde的应助被球球子采纳，获得10

4分钟前; 喷火娃的应助被球球子采纳，获得10

4分钟前; molihuakai的应助被球球子采纳，获得10

4分钟前; 天天快乐的应助被球球子采纳，获得10

4分钟前; 打打的应助被球球子采纳，获得10

4分钟前; 李爱国的应助被球球子采纳，获得10

4分钟前; orixero的应助被球球子采纳，获得10

4分钟前; Criminology34上传了应助文件

4分钟前; 球球子完成签到，获得积分10

5分钟前; Jasper的应助被星星采纳，获得10

5分钟前; 明亮的依珊完成签到，获得积分10

5分钟前; 星星给星星的求助进行了留言

5分钟前; Ava的应助被LUE采纳，获得10

5分钟前; 轻歌水越完成签到，获得积分10

5分钟前; NexusExplorer上传了应助文件

5分钟前; 钠电发布了新的文献求助10

5分钟前; Criminology34上传了应助文件

6分钟前; 体贴的小霜完成签到，获得积分10

6分钟前