Growth and characterization of ultrathin nitrided silicon oxide films

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标题	Growth and characterization of ultrathin nitrided silicon oxide films
网址	http://dx.doi.org/10.1147/rd.433.0265
DOI	10.1147/rd.433.0265 doi
其它	期刊：IBM Journal of Research and Development 作者：E. P. Gusev; H.-C. Lu; E. L. Garfunkel; T. Gustafsson; M. L. Green 出版日期：1999-05-01
求助人	爱笑三颜在 2026-07-24 14:57:16 发布自中国，悬赏 10 积分
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