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Integrated LCOS-SLM-Based Laser Slicing System for Aberration Correction in Silicon Carbide Substrate Manufacturing |
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期刊:Micromachines 作者:Heng Wang; Qiang Cao; Yuting Hou; Lulu Yu; Tianhao Wu; et al 出版日期:2025-08-01 |
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(2025-6-4)