Plasma-enhanced and thermal atomic layer deposition of Al2O3 using dimethylaluminum isopropoxide, [Al(CH3)2(μ-OiPr)]2, as an alternative aluminum precursor

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标题	Plasma-enhanced and thermal atomic layer deposition of Al2O3 using dimethylaluminum isopropoxide, [Al(CH3)2(μ-OiPr)]2, as an alternative aluminum precursor
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/1.36830...
DOI	10.1116/1.3683057 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Stephen E. Potts; Gijs Dingemans; Christophe Lachaud; W. M. M. Kessels 出版日期：2012-02-18
求助人	积极的秋凌在 2026-08-25 18:58:43 发布自江苏，悬赏 10 积分
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