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 Scan-speed trade-offs in the thermo-mechanical response of EUV pellicles under slit-scan exposure 相关领域
极紫外光刻
热的
材料科学
瞬态（计算机编程）
光学
流离失所（心理学）
温度测量
降级（电信）
热辐射
不对称
辐射
瞬态响应
多次曝光
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期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：Ting Wei Chen; Chin-Cheng Hsieh 出版日期：2026-06-05 |
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