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 Quantitative calculation of substrate bending caused by multilayer coating stresses 相关领域
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| DOI |
10.1364/ao.59.000a92
doi
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| 其它 |
期刊：Applied Optics 作者：Muneo Sugiura; Koichi Tamura; Mitsunobu Kobiyama 出版日期：2019-12-17 |
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