First Demonstration of Annealing-Free RT-Prepared AlScN Film with Large Polarization ($2 \mathrm{P}_{\mathrm{r}}>300 \mu \mathrm{C} / \text{cm}^{2}$) and Ultra-Sharp $\mathrm{E}_{\mathrm{c}}$ Distribution for 0T1C FeRAM

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标题	First Demonstration of Annealing-Free RT-Prepared AlScN Film with Large Polarization ($2 \mathrm{P}_{\mathrm{r}}>300 \mu \mathrm{C} / \text{cm}^{2}$) and Ultra-Sharp $\mathrm{E}_{\mathrm{c}}$ Distribution for 0T1C FeRAM
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11074776/11074778/110749...
DOI	10.23919/vlsitechnologyandcir65189.2025.11074960 doi
其它	期刊：2025 Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits) 作者：Xuanyu Zhao; Jie Yu; Yu Li; Yiwei Wang; Fansen Cao; et al 出版日期：2025-07-19
求助人	我方水晶在 2026-09-02 11:12:10 发布自天津，悬赏 10 积分
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