射频离子源辅助与精密光控在真空蒸发镀膜中的应用

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标题	射频离子源辅助与精密光控在真空蒸发镀膜中的应用
网址	http://dx.doi.org/10.26914/c.cnkihy.2019.007820
DOI	10.26914/c.cnkihy.2019.007820 doi
其它	作者：曾琨
求助人	55 在 2024-12-07 14:43:13 发布自福建，悬赏 10 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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