Time-multiplexed, inductively coupled plasma process with separate and steps for etching of GaAs with high selectivity

求助中

文献求助详情

标题	Time-multiplexed, inductively coupled plasma process with separate and steps for etching of GaAs with high selectivity 用于高选择性蚀刻GaAs的具有单独和步骤的时间复用、电感耦合等离子体工艺相关领域钝化感应耦合等离子体蚀刻（微加工）材料科学反应离子刻蚀等离子体选择性干法蚀刻光电子学分析化学（期刊）纳米技术化学催化作用图层（电子）量子力学物理生物化学色谱法
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-abstract/27/5/2270/4688...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？ AI识别 10.1116/1.3225599 doi
求助人	Frank 在 2025-07-29 16:00:59 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
1天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

16:01:02 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

16:00:59 科研通AI机器人（广州）收到请求，开始寻找文献

16:00:59 已向机器人发送请求
1天前

Frank Lv2 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 在水一方的应助被旋转木马9个采纳，获得100

刚刚; 张两丰完成签到，获得积分10

刚刚; why发布了新的文献求助10

1秒前; 香蕉觅云上传了应助文件

2秒前; 现实的机器猫发布了新的文献求助10

3秒前; 虚心白开水发布了新的文献求助100

4秒前; cheng完成签到，获得积分10

4秒前; XuBao的应助被研友_LOokQL采纳，获得10

4秒前; 顾矜的应助被博修采纳，获得10

5秒前; 匿名网友完成签到，获得积分10

5秒前; 草莓糖葫芦完成签到，获得积分10

5秒前; Lucas上传了应助文件

6秒前; CodeCraft的应助被TURBO采纳，获得10

6秒前; 1111上传了应助文件

6秒前; zjx0925发布了新的文献求助10

6秒前; FashionBoy上传了应助文件

7秒前; EBA上传了应助文件

7秒前; 桓白白完成签到，获得积分10

7秒前; 科研通AI2S的应助被大宝采纳，获得10

7秒前; 领导范儿的应助被zzh采纳，获得10

7秒前; 向日葵完成签到，获得积分10

7秒前; 传奇3上传了应助文件

8秒前; zhutu完成签到，获得积分10

8秒前; 可爱的函函的应助被聪慧的盼夏采纳，获得10

9秒前; 传奇3的应助被qmhx采纳，获得10

9秒前; 兵临城下zgb完成签到，获得积分20

9秒前; 可耐的白山发布了新的文献求助10

10秒前; CodeCraft的应助被Corn采纳，获得10

10秒前; zzj发布了新的文献求助30

11秒前; cc完成签到，获得积分20

11秒前; 小二郎的应助被独自升级采纳，获得10

11秒前; 破晓完成签到，获得积分10

12秒前; afli完成签到，获得积分0

13秒前; Orange上传了应助文件

13秒前; 首席医官完成签到，获得积分10

13秒前; 科研通AI5上传了应助文件

13秒前; chuchu的应助被解语花采纳，获得10

14秒前; 可爱的函函的应助被解语花采纳，获得10

14秒前; 所所的应助被解语花采纳，获得10

14秒前; 大模型的应助被解语花采纳，获得10

14秒前