发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Monte Carlo simulations of ion implantation damage process in silicon: arsenic, phosphorus, silicon, BF(2), and boron implants
硅中离子注入损伤过程的蒙特卡罗模拟：砷、磷、硅、BF（2）和B注入
相关领域
离子注入 掺杂剂 硅 材料科学 硼 兴奋剂 蒙特卡罗方法 退火（玻璃） 无定形固体 离子 法律工程学 光电子学 复合材料 化学 结晶学 统计 数学 有机化学 工程类
网址
https://dl.acm.org/citation.cfm?id=287670
AI链接 acm.org
DOI
暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它 期刊：
作者：Shiyang Tian
出版日期：1998-03-17
求助人
徐一一 在 2025-09-18 15:23:51 发布自北京，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Monte Carlo simulation of boron implantation into single-crystal silicon
  2. Efficient molecular dynamics scheme for the calculation of dopant profiles due to ion implantation
  3. Two-dimensional modeling of ion implantation induced point defects
  4. Predictive Monte Carlo ion implantation simulator from sub-keV to above 10 MeV
  5. Improved binary collision approximation ion implant simulators
  6. Monte Carlo simulation of arsenic ion implantation in (100) single-crystal silicon
  7. An ion-implantation model incorporating damage calculations in crystalline targets
  8. Monte Carlo Calculation of One- and Two-Dimensional Particle and Damage Distributions for Ion-Implan...
  9. An efficient molecular dynamics scheme for predicting dopant implant profiles in semiconductors
  10. RBS-channeling determination of damage profiles in fully relaxed Si0.76Ge0.24 implanted with 2 MeV S...
  11. Monte Carlo Simulation for Ion Implantation Profiles, Amorphous Layer Thickness Formed by the Ion Im...
  12. A universal ion implantation model for all species into single-crystal silicon
  13. A Monte Carlo Binary Collision Model for BF 2 Implants into (100) Single‐Crystal Silicon
  14. A New Local Electronic Stopping Model for the Monte Carlo Simulation of Arsenic Ion Implantation int...
  15. Statistical 3D damage accumulation model for ion implant simulators
  16. An accurate Monte Carlo binary collision model for BF/sub 2/ implants into (100) single-crystal sili...
  17. A two-dimensional B implantation model for semiconductor process simulation environments
  18. Enhanced modelization of ion implant simulation in compound semiconductors
  19. Simulation of ion implantation using the four-parameter kappa distribution function
  20. Experimental verification of a new physically based low energy (>5 keV) ion implant model
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 2小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:23:55 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:23:53 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    15:23:51 已向机器人发送请求

  • 2小时前

    徐一一 徐一一 Lv31 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
英姑的应助被三七四十三采纳，获得10
1秒前
2秒前
城南发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
鸟鸣发布了新的文献求助10
3秒前
llw发布了新的文献求助10
3秒前
songyan完成签到，获得积分10
3秒前
阿乾发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
大力飞扬完成签到，获得积分10
5秒前
5秒前
6秒前
6秒前
邹鋬发布了新的文献求助10
7秒前
研友_5Y9Z75完成签到 ，获得积分0
7秒前
7秒前
秀丽焦完成签到 ，获得积分10
8秒前
shinn完成签到，获得积分10
8秒前
善学以致用的应助被姜梦瑶采纳，获得10
9秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
10秒前
Sahar发布了新的文献求助10
10秒前
认真胜发布了新的文献求助10
11秒前
Cyanvega发布了新的文献求助10
11秒前
songyan发布了新的文献求助10
11秒前
12秒前
解语花发布了新的文献求助10
12秒前
13秒前
李牧发布了新的文献求助10
14秒前
15秒前
超级的盼山完成签到，获得积分20
15秒前
16秒前
16秒前
linmo发布了新的文献求助10
16秒前
搜集达人的应助被安静沛柔采纳，获得10
16秒前
Hoyshin的应助被zz采纳，获得20
17秒前
田様的应助被Zzzzzzz采纳，获得10
17秒前
Cyanvega完成签到，获得积分10
17秒前
Xenia完成签到，获得积分10
18秒前
19秒前
大个的应助被毛豆妈妈采纳，获得10
19秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
计划经济时代的工厂管理与工人状况（1949-1966）——以郑州市国营工厂为例 500
INQUIRY-BASED PEDAGOGY TO SUPPORT STEM LEARNING AND 21ST CENTURY SKILLS: PREPARING NEW TEACHERS TO IMPLEMENT PROJECT AND PROBLEM-BASED LEARNING 500
The Pedagogical Leadership in the Early Years (PLEY) Quality Rating Scale 410
Why America Can't Retrench (And How it Might) 400
Stackable Smart Footwear Rack Using Infrared Sensor 300
Two New β-Class Milbemycins from Streptomyces bingchenggensis: Fermentation, Isolation, Structure Elucidation and Biological Properties 300
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 催化作用 遗传学 冶金 电极 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4605334
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4013256
关于积分的说明 12426716
捐赠科研通 3693913
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2036704
邀请新用户注册赠送积分活动 1069652
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 953966
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通