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 CMOS-compatible direct laser writing of sulfur-ultrahyperdoped silicon: Breakthrough pre-requisite for UV-THz optoelectronic nano/microintegration CMOS兼容硫超超掺杂硅的激光直写：UV-THz光电纳米/微米集成的突破性先决条件
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期刊：Optics & Laser Technology 作者：S. I. Kudryashov; Alena Nastulyavichus; George Krasin; K. A. Khamidullin; К. Н. Болдырев; et al 出版日期：2022-11-08 |
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