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 A high-performance piezoelectric MEMS microspeaker with flexible spring-patterned cantilevers 相关领域
材料科学
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期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Ning Deng; Xinyu Ding; Xudong Ma; Hui Shang; Jin Xu; et al 出版日期：2026-01-23 |
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