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标题
Trimethylboron as a precursor for boron phosphide plasma deposition at low temperature
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004065
DOI
10.1116/6.0004065 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Alina Maksimova; Alexander Uvarov; Demid Kirilenko; Artem Baranov; Ekaterina Vyacheslavova; et al
出版日期：2025
求助人
王粒伊 在 2026-01-20 19:52:28 发布自四川，悬赏 10 积分
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  • 5个月前，求助关闭

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  • 6个月前

    王粒伊 王粒伊 Lv51 求助人 发起了本次求助

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