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标题
Selective ablation of thin SiO2 layers on silicon substrates by femto- and picosecond laser pulses
飞秒和皮秒激光脉冲选择性烧蚀硅衬底上SiO2薄层
相关领域
通量 烧蚀 材料科学 薄脆饼 脉冲持续时间 激光器 皮秒 脉搏(音乐) 激光烧蚀 光学 超短脉冲 光电子学 探测器 物理 航空航天工程 工程类
网址
DOI
10.1007/s00339-011-6352-x doi
其它 期刊:Applied Physics A
作者:Tino Rublack; Stefan Hartnauer; P. Kappe; C. Swiatkowski; G. Seifert
出版日期:2011-03-08
求助人
弯弯月亮 在 2025-12-12 17:53:13 发布自孟加拉,悬赏 10 积分
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