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 Actinic inspection of the extreme ultraviolet optical parameters of lithographic materials enabled by a table-top, coherent extreme ultraviolet source 通过台式相干极紫外光源实现光刻材料的极紫外光学参数的光化检测
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期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology 作者：Kevin M. Dorney; Fabian Holzmeier; Nicola N. Kissoon; Esben W. Larsen; D. P. Singh; et al 出版日期：2024-09-25 |
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