| 标题 |
Process optimization of contact hole patterns via a simulated annealing algorithm in extreme ultraviolet lithography 相关领域
极紫外光刻
平版印刷术
模拟退火
临界尺寸
光学
极端紫外线
航空影像
表面粗糙度
表面光洁度
光刻
灵敏度(控制系统)
过程(计算)
计算机科学
图像质量
材料科学
算法
计算机视觉
电子工程
图像(数学)
物理
工程类
复合材料
激光器
操作系统
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Applied Optics 作者:Rongbo Zhao; Yayi Wei; Hong Xu; Xiangming He 出版日期:2023-01-03 |
| 求助人 | |
| 下载 | 暂无链接,等待应助者上传 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|