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 Comparison of O2 and H2O as oxygen source for homoepitaxial growth of β-Ga2O3 layers by halide vapor phase epitaxy 相关领域
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Kazuo Konishi; Ken Goto; Rie Togashi; Hisashi Murakami; Masataka Higashiwaki; et al 出版日期：2018-06-01 |
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