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 A microaccelerometer structure fabricated in silicon-on-insulator using a focused ion beam process 使用聚焦离子束工艺在绝缘体上硅中制造的微加速度计结构
相关领域
材料科学
绝缘体上的硅
聚焦离子束
硅
制作
光电子学
占空比
梁（结构）
电气工程
离子
光学
工程类
电压
物理
病理
医学
量子力学
替代医学
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| 其它 |
期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Jürgen Daniel; David F. Moore 出版日期：1999-03-01 |
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