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  Shedding light on the initial growth of ZnO during plasma-enhanced atomic layer deposition on vapor-deposited polymer thin films 气相沉积聚合物薄膜等离子体增强原子层沉积过程中ZnO初始生长的发光
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期刊：Applied Surface Science 作者：Lisanne Demelius; Matthias Blatnik; Katrin Unger; Paola Parlanti; Mauro Gemmi; et al 出版日期：2022-08-24 |
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