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标题
Comparison of annealing quality after 3e15/cm2 50 keV BF2+ implant between rapid thermal annealing and furnace annealing
3e15/cm2 50keV BF2+注入后快速热退火与炉内退火退火质量的比较
相关领域
退火（玻璃） 材料科学 二极管 电容 光电子学 电气工程 冶金 物理 电极 工程类 量子力学
网址
https://doi.org/10.1557/s43580-022-00389-x
AI链接 springer.comdoi.org
DOI
10.1557/s43580-022-00389-x doi
其它 期刊：MRS Advances
作者：Leonhard Sturm-Rogon; A. Burenkov; F. Cristiano; Dirk Eckert; Anna Johnsson; et al
出版日期：2022-12-05
求助人
lilijiang 在 2025-08-19 13:46:53 发布，悬赏 10 积分
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