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  Optimizing reactive ion etching to remove sub-surface polishing damage on diamond 相关领域
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Marie-Laure Hicks; Alexander C. Pakpour‐Tabrizi; Verena Zuerbig; Lutz Kirste; Christoph E. Nebel; et al 出版日期：2019-06-28 |
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