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标题
Polarization control in flexible interference lithography for nano-patterning of different photonic structures with optimized contrast
用于具有优化对比度的不同光子结构纳米图案化的柔性干涉光刻中的偏振控制
相关领域
光学 干涉光刻 平版印刷术 光子学 干扰(通信) 光刻 极化(电化学) 材料科学 无光罩微影 下一代光刻 电子束光刻 纳米- X射线光刻 光子晶体 光电子学 物理 纳米技术 制作 抵抗 电信 计算机科学 复合材料 物理化学 化学 病理 医学 频道(广播) 替代医学 图层(电子)
网址
DOI
10.1364/oe.23.011518 doi
其它 期刊:Optics Express
作者:Jianfang He; Xiaohui Fang; Yuanhai Lin; Xinping Zhang
出版日期:2015-04-23
求助人
macleod 在 2025-05-12 15:12:17 发布自浙江,悬赏 10 积分
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