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 Improving machinability and inhibiting surface damage of SiC wafer by ion implantation modification 离子注入改性提高SiC晶片可加工性和抑制表面损伤
相关领域
可加工性
薄脆饼
表面改性
材料科学
离子注入
离子
冶金
复合材料
光电子学
化学
机械工程
工程类
机械加工
有机化学
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期刊：Chinese Journal of Aeronautics 作者：Qiang Kang; Xianguang Kong; Jiantao Chang; Xudong Fang; Wu Chen; et al 出版日期：2025-01-01 |
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