| 标题 |
 Improving machinability and inhibiting surface damage of SiC wafer by ion implantation modification 离子注入改性提高SiC晶片可加工性和抑制表面损伤
相关领域
可加工性
薄脆饼
表面改性
材料科学
离子注入
离子
冶金
复合材料
光电子学
化学
机械工程
工程类
机械加工
有机化学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Chinese Journal of Aeronautics 作者：Qiang Kang; Xianguang Kong; Jiantao Chang; Xudong Fang; Wu Chen; et al 出版日期：2025-01-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
cdercder
潇洒的惋清
林金花
小荷才露尖尖角
无极微光
毛豆
七月不远
GingerF
OK
乐空思
东方元语
liuzhuohao
Copyright
老胡
Nole
青枫
初遇之时最暖
arniu2008
pluto
皖公网安备34019202002308
