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标题
Improved characteristics of MOS interface between In0.53Ga0.47As and insulator by H2 annealing with Pt gate electrode
Pt栅电极H2退火改善In0.53Ga 0.47 As与绝缘体MOS界面特性
相关领域
退火（玻璃） 材料科学 电极 光电子学 形成气体 绝缘体（电） 氧化物 晶体管 电容器 半导体 场效应晶体管 工作职能 金属 电气工程 冶金 电压 化学 物理化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1063/1.5111377
DOI
10.1063/1.5111377 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Seong Kwang Kim; Dae‐Myeong Geum; Hyeongrak Lim; Han-Sung Kim; Jae‐Hoon Han; et al
出版日期：2019-09-30
求助人
kyhzxy 在 2025-07-04 17:07:40 发布自浙江，悬赏 10 积分
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