Identification of donor deactivation centers in heavily As-doped Si using time-of-flight medium-energy ion scattering spectroscopy

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标题	Identification of donor deactivation centers in heavily As-doped Si using time-of-flight medium-energy ion scattering spectroscopy
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/1.49321...
DOI	10.1063/1.4932149 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：W. Min; Kyungsu Park; K. Yu; S. Joo; Yong-Sung Kim; et al 出版日期：2015-10-05
求助人	缪南风在 2026-09-20 14:24:13 发布自山东，悬赏 10 积分
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