Cobalt Precursor as Surface Inhibitor for Area-Selective Atomic Layer Deposition of Nanoscale Electronic Interconnects

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标题	Cobalt Precursor as Surface Inhibitor for Area-Selective Atomic Layer Deposition of Nanoscale Electronic Interconnects
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acsanm.5c05042
DOI	10.1021/acsanm.5c05042 doi
其它	期刊：ACS Applied Nano Materials 作者：Zunair Masroor; Ngoc Le Trinh; Summal Zoha; Youngho Kang; Han-Bo-Ram Lee 出版日期：2026-01-21
求助人	2d3y 在 2026-09-09 10:12:28 发布自中国，悬赏 10 积分
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