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标题
Lift-off resist for optical filters using high-temperature sputtering
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DOI
10.1117/12.3079850 doi
其它 期刊:Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics XIX
作者:Abigail Rendos; Meg Nagesha; Keegan Sperry; Riley Forst; Supratik Dasgupta; et al
出版日期:2026-03-06
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