TEM investigation of the role of the polycrystalline-silicon film/substrate interface in high quality radio frequency silicon substrates

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标题	TEM investigation of the role of the polycrystalline-silicon film/substrate interface in high quality radio frequency silicon substrates
网址	https://doi.org/10.1016/j.matchar.2020.110174
DOI	10.1016/j.matchar.2020.110174 doi
其它	期刊：Materials Characterization 作者：Lipeng Ding; Jean‐Pierre Raskin; Gunnar Lumbeeck; D. Schryvers; Hosni Idrissi 出版日期：2020-01-29
求助人	背后妙旋在 2026-07-30 11:25:41 发布自江苏，悬赏 10 积分
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