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标题
Effect of Wet Treatment on Stability of Spin-On Dielectrics for STI Gap-Filling in Nanoscale Memory
网址
http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.145-146.193
DOI
10.4028/www.scientific.net/ssp.145-146.193 doi
其它 期刊：Solid State Phenomena
作者：Gyu Hyun Kim; Soon Young Park; Seung Seok Pyo; Ji Hye Han; Jung Nam Kim; et al
出版日期：2009-01-01
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机灵的初雪 在 2026-10-12 13:59:33 发布自广东，悬赏 30 积分
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