发布文献求助
已关闭
  • 文献求助详情
系统提示
该期刊的论文均为ECS Meeting Abstracts，无全文，请核实。查看帮助
提醒：由于doi是数字文件的唯一标识，应助人将优先使用doi进行应助
标题
Novel Clean Concept of Advanced Patterning Film (Amorphous Carbon) for Beyond 2xnm Generation Self-Aligned Double-Patterning (SADP) Process
相关领域
无定形碳 材料科学 无定形固体 化学气相沉积 蚀刻（微加工） 纳米技术 碳纤维 化学工程 各向同性腐蚀 复合材料 化学 有机化学 复合数 图层（电子） 工程类
网址
http://dx.doi.org/10.1149/ma2014-01/39/1460
DOI
10.1149/ma2014-01/39/1460 doi
其它 期刊：ECS Meeting Abstracts
作者：Hsin Tai; Yu-Mei Liao; Wei-Ting Liu; Wen-Chuan Peng; Tzung-Hua Ying
出版日期：2014-04-01
求助人
初景 在 2026-11-07 08:30:09 发布自浙江，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. APF hard mask distortion improvement for high aspect ratio patterning
  2. Pattern wiggling investigation of self-aligned double patterning for 2x nm node NAND Flash and beyon...
  3. Patterning with Amorphous Carbon Thin Films
  4. Preparation and analysis of amorphous carbon films deposited from (C6H12)/Ar/He chemistry for applic...
  5. Hardware Design Optimization and Process Control for a Low Friction Coefficient Substrate and Film: ...
  6. Amorphous Carbon Hard Mask for Multiple Patterning Lithography
  7. Diamond-like amorphous carbon layer film by an inductively coupled plasma system for next generation...
  8. Development of novel thick spin-on carbon hardmask
  9. Bonding structure and etching characteristics of amorphous carbon for a hardmask deposited by DC spu...
  10. Investigation on silica particle cleaning mechanism of surfactants for amorphous carbon post-CMP cle...
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 1天前，求助关闭

    初景 初景 Lv7 求助人 关闭了本次求助。

    说明 不需要了【积分已退回】

  • 2天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    08:30:13 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    08:30:10 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    08:30:09 已向机器人发送请求

  • 2天前

    初景 初景 Lv7 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
活力的秋灵完成签到，获得积分10
1秒前
雨碎寒江发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
大个的应助被KKK采纳，获得10
1秒前
1秒前
klicking完成签到，获得积分10
1秒前
痘痘超人完成签到，获得积分10
2秒前
怕黑的咖啡豆完成签到，获得积分10
2秒前
时尚的囧发布了新的文献求助10
2秒前
勤劳的乐安完成签到，获得积分10
2秒前
学习完成签到，获得积分10
2秒前
潇洒的惋清的应助被陌路孤星采纳，获得10
2秒前
英吉利25发布了新的文献求助10
3秒前
臻亚完成签到 ，获得积分10
3秒前
3秒前
秃头的彬彬完成签到，获得积分10
3秒前
小刀刀完成签到，获得积分10
4秒前
大鲁完成签到，获得积分10
4秒前
闻屿完成签到，获得积分10
4秒前
BBIBBI完成签到，获得积分10
4秒前
科研通AI6.2的应助被张张采纳，获得10
4秒前
cp完成签到，获得积分10
4秒前
小海盗完成签到，获得积分10
5秒前
任性的诗兰完成签到，获得积分10
5秒前
5秒前
YK完成签到，获得积分10
5秒前
婉婉完成签到，获得积分10
6秒前
6秒前
小虫子完成签到，获得积分10
6秒前
小马甲的应助被不辣的皮特采纳，获得10
6秒前
6秒前
firy完成签到，获得积分10
7秒前
yKkkkkk完成签到，获得积分10
7秒前
CC完成签到，获得积分10
7秒前
Jacklyn完成签到，获得积分10
7秒前
Domo完成签到，获得积分10
7秒前
8秒前
Owo完成签到 ，获得积分10
8秒前
菠萝集装箱完成签到 ，获得积分10
8秒前
海绵完成签到，获得积分10
8秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
IRTSD: Open-Source Data and Toolset for Electromagnetic Transient Analysis of Disturbances and IBR Control Malfunctions in Transmission Systems 1000
Spec 401: Standards for Jet Fuel Facility and Equipment Commissioning and Flushing at Airports, 2026.1 (Original Issue) 1000
Spec 103: Standard for Jet Fuel Quality Control at Airports, Revision 2026.1 1000
Les Mots du discours 600
A Consideration on Use of Material Grades for Hull Structural Members Based on Fracture Toughness(Second Report) 500
AI Disclosure in Annual Reports: Evolution, Determinants, and Capital Market Participants’ Perceptions 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 物理 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 人工智能 细胞生物学 无机化学 物理化学 数学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 8108963
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9516747
关于积分的说明 21505585
捐赠科研通 7685798
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3411034
关于科研通互助平台的介绍 2538394
邀请新用户注册赠送积分活动 2450991
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通