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 Quantitative thermodynamic investigation of thermal stability and diffusion barrier property of an amorphous cobalt alloy interlayer 非晶态钴合金夹层热稳定性和扩散阻挡性能的定量热力学研究
相关领域
材料科学
扩散阻挡层
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Y. YAMADA; Masataka Yahagi; Junichi Koike 出版日期：2022-01-01 |
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