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 Prediction of the surface roughness and material removal rate in chemical mechanical polishing of single-crystal SiC via a back-propagation neural network 基于反向传播神经网络的单晶SiC化学机械抛光表面粗糙度和材料去除率预测
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期刊：Precision Engineering 作者：Jiayun Deng; Qixiang Zhang; Jiabin Lu; Qiusheng Yan; Jisheng Pan; et al 出版日期：2021-04-24 |
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