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标题
Thermal stability of structure and properties of CHx doped SiCOH low dielectric constant films
CHx掺杂SiCOH低介电常数薄膜结构和性能的热稳定性
相关领域
材料科学 电介质 微观结构 电子回旋共振 解吸 分析化学（期刊） 热稳定性 兴奋剂 热脱附 复合材料 电容 等离子体 化学工程 电极 光电子学 吸附 化学 物理化学 色谱法 工程类 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.7498/aps.58.575
DOI
10.7498/aps.58.575 doi
其它 期刊：Acta Physica Sinica
作者：Du Jie; Chao Ye; Yu Xiao-Zhu; Haiyan Zhang; Zhaoyuan Ning
出版日期：2009-01-01
求助人
Zach 在 2025-10-29 07:38:25 发布自内蒙古，悬赏 10 积分
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