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 Fluid-kinetics enhanced selective etching process of NiPt film by piranha chemistry in silicide formation for complementary metal oxide semiconductor fabrication 互补金属氧化物半导体制造硅化物形成中的piranha化学流体动力学增强NiPt膜选择性蚀刻工艺
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期刊：Thin Solid Films 作者：Ming Mao Chu; Jung‐Hua Chou 出版日期：2012-03-30 |
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