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  The Effect of Through-Silicon-Via Thermal Stress on Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor Properties Under Cooling to Ultra-Low Temperatures 硅通孔热应力对冷却至超低温下金属氧化物半导体场效应晶体管性能的影响
相关领域
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期刊：Micromachines 作者：Wenting Xie; Xiaoting Chen; Liting Zhang; Xiangjun Lu; Bing Ding; et al 出版日期：2025-02-15 |
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